岗位职责
一、负责设备安装与装配
1 按照设计图纸和装配工艺,负责精密机械模组、气浮/直线电机平台、光路系统的洁净环境安装与调试;
1负责设备硬件线路排查、气路/液路连接及系统上电安全检查。
二、负责系统调试与校准
1 .运动控制校准: 使用激光干涉仪、自准直仪等工具,对多轴运动平台进行几何精度校准(如直线度、垂直度、偏摆角),完成运动控制PID参数整定及前馈补偿,实现纳米级定位与扫描;
2. 光学与视觉调试: 配合光学工程师,调试视觉对准系统(模板匹配、边缘检测算法参数),校准光学干涉仪光路,确保对准精度和测量数据的准确性;
3.工艺子系统测试: 针对纳米压印或喷胶/喷墨模块,进行流量、压力、温度及均匀性的专项测试,确保工艺腔体的基础环境达标。(公司提供培训)。
三、负责整机功能与性能测试
1.编写测试用例,覆盖设备的安全规范、基本功能、极限负载、连续运行稳定性(MTBF)及精度保持性测试;
2.执行整机EMC测试(电磁兼容性)、振动测试及热平衡测试,分析设备在不同环境下的表现;
3.主导半导体SECS/GEM通讯协议的联调测试。
四、负责问题追踪与输出总结报告
1.记录测试过程中的软硬件Bug、装配干涉、逻辑缺陷等问题,使用Jira/禅道等工具进行追踪,并推动研发、生产部门进行闭环整改;
2.输出详尽的中英文测试报告、数据分析图表及改进建议。
五、负责技术文档与SOP撰写
1.编制《整机测试作业指导书 (SOP)》、《设备校准规范》、《出厂检验标准》及《现场安装调试手册》;
2.整理常用备件清单和故障排查指南(FAQ),为售后团队提供技术支持。
岗位要求
1.本科及以上学历,机械工程、自动化、光学工程、精密仪器、测控技术与仪器等相关专业;
2.3年以上半导体前道或后道复杂设备(如刻蚀、薄膜沉积、光刻、CMP、清洗、检测等)的整机测试/调试经验;
3.熟练使用常用仪器:如激光干涉仪(Renishaw/API)、数据采集卡、示波器、频谱分析仪、数字万用表;
4.熟悉精密机械装配图纸及公差配合,熟练使用千分表、水平仪等测量工具;
5.了解基本的运动控制原理(PID, 前馈, 插补)和工业通讯协议(EtherCAT, EtherNet/IP)。